晶圆探针台对准应用
晶圆探针台是芯片电性测试的核心设备,依靠视觉系统完成探针卡与晶圆微小焊盘的高精度对准。双翌视觉系统搭载远心成像与专用识别算法,实现亚微米级自动对位,可自动补偿晶圆翘曲、温度漂移带来的位置偏差,大幅降低探针损耗、提升测试良率,适配 6/8/12 英寸各类晶圆全自动探针测试产线,为半导体芯片分选提供稳定可靠的视觉自动化解决方案。
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当下半导体芯片、功率器件、存储芯片测试需求持续放量,晶圆探针测试工序直接决定芯片良率筛选效率,对探针卡与晶圆焊盘的对准精度、重复定位稳定性要求达到亚微米级。传统人工目视校正对位误差大、测试节拍长,极易出现扎偏、扎伤焊盘、探针卡损耗过快等问题。双翌光电整套机器视觉对位解决方案,为晶圆探针测试工艺提供超高精度焊盘对准、多点基准校准、晶圆翘曲补偿能力,兼容 6/8/12 英寸各类晶圆、Micro / 大功率芯片探针测试场景。

晶圆探针台依靠探针卡扎触晶圆焊盘完成电性检测,焊盘微小、间距窄,对位偏差会直接造成芯片误判报废与探针耗材损耗。视觉系统实时识别晶圆定位标记与探针卡基准点位,实时驱动载台完成微米级精准贴合,是保障测试良率、降低耗材成本、提升设备产能的核心单元。


半导体测试无尘车间工况下,视觉成像清晰度、坐标运算速度、多轴同步补偿性能标准严苛,双翌软硬件体系专为探针台场景深度优化适配
·软件可视化自定义焊盘尺寸、标记样式、对位公差、分区检测参数
·亚像素定位算法对准精度可达 ±0.0003mm,适配窄间距微小焊盘先进制程
·双相机上下同步成像运算,同步采集晶圆焊盘与探针卡基准,缩短对位节拍
·防尘防静电光学组件,适配测试车间洁净、静电管控严苛生产环境

  
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