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晶圆探针台依靠探针卡扎触晶圆焊盘完成电性检测,焊盘微小、间距窄,对位偏差会直接造成芯片误判报废与探针耗材损耗。视觉系统实时识别晶圆定位标记与探针卡基准点位,实时驱动载台完成微米级精准贴合,是保障测试良率、降低耗材成本、提升设备产能的核心单元。
半导体测试无尘车间工况下,视觉成像清晰度、坐标运算速度、多轴同步补偿性能标准严苛,双翌软硬件体系专为探针台场景深度优化适配
·软件可视化自定义焊盘尺寸、标记样式、对位公差、分区检测参数
·亚像素定位算法对准精度可达 ±0.0003mm,适配窄间距微小焊盘先进制程
·双相机上下同步成像运算,同步采集晶圆焊盘与探针卡基准,缩短对位节拍
·防尘防静电光学组件,适配测试车间洁净、静电管控严苛生产环境

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