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半导体知识分享——用多种方法改善，使浸润式光刻机曝光台边缘缺陷，检测后分析

介绍在摩尔定律引导下，国际半导体技术蓝图（ITRS）也在不断更新换代。随着集成电路产品技术需求的提升，光刻技术也不断地提高分辨率，以制作更精细的器件尺寸。传统的光刻技术中镜头和晶圆之间的介质是空气，而浸润式光刻技术则是把空气换成了液体，比如水，这是利用了光通过液体后波长缩短从而提高分辨率的原理。随着浸润式光刻技术的发展和成熟度越来越高，目前其精度已然达到 28 nm 生产工艺节点，其各项主要性能也得到业界认可，如表 1 所...

2024-07-05 10:05:46
机器视觉在零部件尺寸测量检测技术方面的应用分析

在产品生产制造领域，外观尺寸检测是非常重要的一个环节，一个产品到达消费者手中之前，从最初的材料、零部件，到最后的成品，可能经过了数百道不同的外观尺寸检测过程。外观尺寸检测需要高昂的人工成本，偏偏检测效率和效果不一定能让人满意。因此，越来越多工厂开始使用视觉检测设备来进行产品外观尺寸检测。基于机器视觉检测技术的尺寸测量方法具有成本低、高精度、高效率、操作方便等优点。其非接触性、实时性、灵活性和准确性能有效解决传统检测方法存在的问题。 ...

2024-07-05 09:53:33
在智能制造中，MES和自动化系统将扮演什么关键角色？

了解MES和自动化系统是如何与新一代智能制造技术集成，为制造企业实现数字化转型打下坚实基础的。在谈到智能制造或工业4.0时，行业关注的焦点往往集中在人工智能（AI）、数字孪生和数字线程、增强现实（AR）和虚拟现实（VR）、工业物联网（IIoT）、协作机器人和增材制造等技术上。但是，自动化和控制系统适合于哪些领域？在智能制造领域中，这些系统扮演着什么关键角色？自动化和制造执行系统（MES）如何为制造企业的数字化转型打下坚实的基础？为了回答这些问...

2024-07-04 10:13:37
半导体芯片生产中经典的两种自动对焦模式

芯片生产包含近千道工序。为了保证芯片的生产质量和稳定性，在每一道工序中，检测是不可或缺的环节。随着需求的不断增加，半导体工艺技术的同步迭代升级，芯片正朝着更先进的制程、更高的集成度、更精密的特征尺寸和更复杂的设计的方向演变，同时，这使得芯片的缺陷尺寸要求越来越高，检测工艺更具有挑战性。如今的视觉检测设备，要求能检测到纳米级别的缺陷并尽可能在更早的生产环节中对识别出。视觉检测设备典型的视觉检测设备包括用于承载晶圆的运动平台和光学显微镜系统（...

2024-07-04 10:06:16
通过MES系统如何提升生产车间生产效率？

对于制造企业来说，生产车间是企业的核心，因为生产效率高低关乎着企业的生存。如何提高生产效率，降低制造成本，是改变企业发展的重要途径。在工业4.0时代，MES系统的重要性被越来越多的制造企业重视起来，开始了解和部署MES。制造企业通过谷器MES能全程监控车间现场工作，实现生产信息透明化、制造过程协同化、数据采集自动化、削减不会产生附加值的活动等，能有效推动工厂的运行，提升现场效率，减少在制品，降低制造成本。影响生产效率的因素有哪些？ ...

2024-07-03 09:59:10
电动汽车锂离子电池，需通过工业显微镜进行全面检测

电动汽车，或者说是新能源汽车，已然成为了当前汽车市场上最为重要的一部分，而对于其安全问题的考虑和检测，一直是行业内关注的焦点。而在2020年下半年，国家更是颁布了《关于开展新能源汽车安全隐患排查工作的通知》以严格控制新能源汽车的安全问题。锂离子动力电池，是电动汽车最常见的电池模组的组成部分，而对于电池的安全性检测，则成为了电动汽车安全检查不可或缺的重要环节。动力电池的安全性常见的电动汽车锂电池主要以磷酸铁锂、锰酸锂和三元锂电池为...

2024-07-03 09:57:13