掩膜版:电子制造之底片,晶圆光刻之蓝本。 掩膜版是微电子制造过程中的图形转移母版,按照制造材料可以分为石英掩膜版、苏打掩膜版和其他(菲林、凸版、干版),按照下游应用领域可以主要分为平板显示掩膜版、半导体掩膜版、触控掩膜版、电路板掩膜版。掩模版对于光刻工艺的重要性不弱于光刻机、光刻胶。在集成电路领域,光掩模的功能类似于传统相机的“底片”,在光刻机、光刻胶的配合下,将光掩模上已设计好的图案,通过曝光和显影等工序转移到衬底的光刻胶上,进行图像复制,从而实现批量生产。...
2024-07-10 10:29:20